北航研发磁性芯片高精度检测设备将投入商用
磁性芯片生产过程中，需将纳米磁性薄膜均匀铺在晶圆（制作硅半导体集成电路所用的衬底）上。难点在于薄膜的平整度，“相当于在北京的海淀区地面上均匀铺满5层厚的小米粒，且须完全平整”。在磁性芯片生产过程中的磁性薄膜检测这一关键技术。
北航集成电路学院工艺与装备系教师张学莹表示，利用团队研发的晶圆级磁光克尔测试仪，通过微小的磁性针尖在薄膜上写字，若字的颜色对比度一致、字迹清晰，则表明薄膜有良好的均匀性。完成平整度检测后，将纳米薄膜制成器件，封装后形成芯片。
北航集成电路学院工艺与装备系主任王新河表示，对比国外同类设备，这台仪器在测试精度和速度等方面进行了技术革新，实现了自主创新突破。目前该仪器现已应用于科研领域，且预计于今年10月在产业领域投入商用。这台晶圆级磁光克尔测试仪，将为具有百亿元市场规模的磁性芯片产业提供设备支撑。（校对/nanana）
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